失效樣品分析
試驗項目
材料去層、截面制備、金屬互連、絕緣層分層等。
試驗參數(shù)
探測器:單個探測器有效面積65mm2
元素分析范圍:Be4~Cf98
試驗標準
SH-C-24-03-0016等。