芯片電路修改
試驗(yàn)項(xiàng)目
電路修改、點(diǎn)針墊偵錯(cuò)、新型WLCSP 電路修正。
試驗(yàn)參數(shù)
應(yīng)用能力可達(dá)7nm制程芯片
Backside FIB 晶背施工修改
W+PT+SiO2 Dep.
GDS Navigation 導(dǎo)航定位系統(tǒng)